基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发

2021年12月第一届全国博士后创新创业大赛在广东省佛山市举办，中山大学博士后青年英才积极组队参加，展现了中山大学博士后队伍建设的蓬勃气象。本届大赛以“博采科技精华　创新引领未来”为主题，共设创新赛、创业赛、海外（境外）赛和揭榜领题赛等四个组别，约1400个项目以路演和答辩为主要展示形式，线下现场赛和线上云参赛相结合，经过3天的激烈角逐，我校代表团共获得1个银奖、3个铜奖、8个优胜奖的好成绩。

优胜奖团队

组别：创业赛

领域：新一代信息技术

项目名称：基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发

团队单位：威廉希尔中文网站平台

团队介绍：项目团队由中山大学博士后李健博士作为项目负责人，中山大学王钢教授为首席科学家。李健博士，曾获得2020年广东省科学进步二等奖，一作发表SCI相关论文十六篇，授权发明及实用新型专利数十项，在上市公司和科研院校有过技术研发及产业化推广的能力，具有装备研发、材料生长、芯片设计等丰富的行业经验；王钢教授，中山大学威廉希尔中文网站平台教授、博士生导师，科技部“十一五”、“十二五”国家863计划“半导体照明工程”重大项目总体专家组成员，教育部新世纪人才，中山大学佛山研究院院长。项目团队以中山大学硕、博研究生及工程师为主的研发团队。成员涵盖了半导体装备、半导体材料、芯片工艺、智能算法等技术人员，多次获得了省、市团队荣誉奖励。

基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发

2021年传感器市场规模已达2000亿美元，并每年以近20%的增速成长。遗憾的是 ，庞大的市场却大多被国外巨头垄断，国内企业的市场份额非常有限，即便在国防工领域，对境外厂商仍有依赖性。在民用传感器市场，GE、西门子、博世、意法半导体、霍尼韦尔、ABB、日本横河等占据优势，中国市场超过70%的市场被美国、德国、日本企业占领，国产传感器市场份额在10%左右，且大多是超低端市场，而且在传感器材料研发更是短板。

为此，本团队秉承中山大学三个面向，即“面向学术前沿，面向国家重大战略需求，面向国家和区域经济社会发展方向”，解决传感器材料和高端芯片问题，打造“国之重器”。经过十年研究，自主研发了国内首台氧化物半导体MOCVD设备和国际首创的MOCVD智能决策系统，通过独特的配方进行氧化物薄膜材料的生长，在新材料研发方面具备周期短、成本低、良率高等优势。团队研发的第三半导体氧化物材料具有优良的压电特性、机电耦合系数高、耐电击穿能力强、压电系数高等优异性能，通过采用MEMS技术产生的芯片具有小型化、集成化的特点，可以有效降低产品故障率、提高器件性能，显著降低成本，在超声传感器、压电类麦克风传感器、气体浓度传感器等MEMS传感器方面具有无可比拟的优势。在5G通信、物联网、智能手机、智能汽车、生物医疗等领域有广阔的应用前景。

团队同时致力于成为以深度融合传感技术为核心的全场景解决方案提供商，业务聚焦于智能物联网、大数据服务和智慧业务，构建开放合作生态，为公共服务领域用户、企事业用户和中小企业用户提供服务，致力于构筑多维传感、云边一体、数智协同、物信融合的智慧城市和数字化企业。

中山大学一直高度重视博士后人员队伍的培育工作，为博士后人员群体提供更多的创新发展机遇、更为广阔的科研平台、更加多元的职业路径，并定期举办学术沙龙、交流会、分享会等活动，搭建博士后交流平台，促进跨学科交流、融合创新发展、涵养良好学术生态。

中山大学诚邀优秀的青年人才选择中大，与中大携手，共筑人才高地、引领创新未来，共同谱写事业发展的新篇章。心动不如行动，马上关注中山大学人才发展办公室微信公众号，了解更多中山大学招聘信息，我们真诚地期待您的加盟！我们在风起云涌、朝气蓬勃的粤港澳大湾区等着您！